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VUV与EUV探测器
    新一代SiC基真空紫外(VUV)探测器和极紫外(EUV)探测器具有暗电流低、量子效率高、本征白光抑制、温度稳定性优和抗辐射能力强等系列性能优势,在193 nm13.5 nm光刻机紫外光源强度监控、同步辐射等大科学装置、太阳风视察、地球等离子体物理以及工业丈量等领域均具有重要的应用。
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型号:ST-VUV6

产品介绍:芯片尺寸6.25 mm2,TO39封装,高量子效率,低暗电流,高辐照稳定性

典范应用: 193 nm激光器输出强度监控,真空紫外同步辐射光源监控,VUV紫外能量计,VUV紫外光谱仪

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型号:ST-VUV25

产品介绍:超大感光面积,芯片尺寸25 mm2,TO8封装,高量子效率,低暗电流,高辐照稳定性

典范应用: 193 nm激光器输出强度监控,真空紫外同步辐射光源监控,VUV紫外能量计,VUV紫外光谱仪

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型号:ST-EUV6

产品介绍:芯片尺寸6.25 mm2,TO39封装,高量子效率,低暗电流,抗辐射能力优

典范应用: 13.5 nm EUV光源辐照强度监控,极紫外同步辐射光源监控,极紫外能量计,极紫外光谱仪

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型号:ST-EUV25

产品介绍:超大感光面积,芯片尺寸25 mm2,TO8封装,高量子效率,低暗电流,抗辐射能力优

典范应用: 13.5 nm EUV光源辐照强度监控,极紫外同步辐射光源监控,极紫外能量计,极紫外光谱仪

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型号:SCT-EUV20

产品介绍:芯片尺寸19.6 mm2,陶瓷封装,极紫外探测,抗辐射能力优

典范应用: 13.5 nm EUV光源辐照强度监控,极紫外同步辐射光源监控,极紫外能量计,极紫外光谱仪

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型号:SCT-VUV20

产品介绍:超大感光面积,芯片尺寸19.6 mm2,陶瓷封装,真空紫外探测,高辐照稳定性

典范应用: 193 nm激光器输出强度监控,真空紫外同步辐射光源监控,VUV紫外能量计,VUV紫外光谱仪

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型号:SCT-EUV64

产品介绍:芯片尺寸63.5 mm2,陶瓷封装,极紫外探测,抗辐射能力优

典范应用: 13.5 nm EUV光源辐照强度监控,极紫外同步辐射光源监控,极紫外能量计,极紫外光谱仪

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型号:SCT-VUV64

产品介绍:超大感光面积,芯片尺寸63.5 mm2,陶瓷封装,真空紫外探测,高辐照稳定性

典范应用: 193 nm激光器输出强度监控,真空紫外同步辐射光源监控,VUV紫外能量计,VUV紫外光谱仪

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产品中心

VUV与EUV探测器
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ST-VUV6

类型:真空紫外
芯片面积:芯片尺寸6.25 mm2

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ST-VUV25

类型:真空紫外
芯片面积:芯片尺寸25 mm2

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ST-EUV6

类型:极紫外
芯片面积:芯片尺寸6.25 mm2

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ST-EUV25

类型:极紫外
芯片面积:芯片尺寸25 mm2

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SCT-EUV20

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SCT-VUV20

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SCT-EUV64

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SCT-VUV64

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